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靶材的主要性能要求

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umic的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。1、预酸洗线pre-picklingline：主要是毛刷辊来除鳞。

杂质含量：靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

在循环氧化测试中铂铝涂层具有---的膜剥落性。研究数种涂层在高温900℃下的抗热腐蚀性能，铂铝涂层是耐蚀的铝化物涂层，几乎与这种---为抗高温热腐蚀而设计的cocraly涂层一样耐蚀。各涂层的耐高温腐蚀性由低到高进行排序为：简单铝化物，镀铂，镀铂铼，铂铝涂层。铂铝涂层具有---的耐氧化膜剥落和抗热腐蚀特性。-复合材料属金属基复合材料，具有与-相似的特性，如导电、导热性好，、抗腐蚀等。

一般来讲，预镀pt层厚约10μm，涂层制备成本较高。现在人们正试图以钯、铱和铑等其它铂族或的金属取代铂，以获得---异、价格适中的涂层。

-复合材料两种或多种不同种类的相容性材料用物理方法合成的具有多相结构的-材料。美国克雷德(k．g．kreider)-其特点为：(1)其组成由人为选定和设计。(2)是人工制造的而不是天然的。(3)至少含有两种独立的不同的相。(4)其性能取决于每一组成相的性能。(5)其组元具有重复的几何形状，以致在宏观上可以认为材料是均匀的。进而降低预镀铂层厚度，达到常见铂铝涂层一般pt镀层厚度***6μm的抗高温氧化性能，有效降低铂铝涂层的制备成本。(6)具有单个组元材料不具有的优良性质。

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