河北微型流量计价格-的选择

流量控制器简介

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使用范围： 流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。

流量控制器的常见问题

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实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在mfc行业中，有一种参数叫cf，即气体转换系数下面简称cf。而mfc行业中又把n2氮气定义为标准气体m。n2的c值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。cf大于1.00的代表气体是单原子气体he(-)、xe(氙)。和n2相近的气体有02氧气、h2氢气、f2氟等。0.5以下的有sf6、wf6、sicl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的cf值计算即可。

假设某台mfc是用n2标定的，但是实际流过的气体是he，实际的流量比n2多。各个厂家的he的cf值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是he气相同示数时，是n2的1.4倍流量。反过来，如果n2流过he的mfc，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定cf是否与你的气源相同。

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