真空闸板阀报价咨询
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售高温束源炉,我们为您分析该产品的以下信息。
束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下,通过加热材料的方法,使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。
随着真空镀膜技术的不断发展,对镀膜设备的工艺需求也不断提出更高的要求,尤其在温蒸发设备领域更显---。在温状态下所用材料的选用尤为重要,要求在正常高温下炉内气氛清洁,不能给工件带来污染,使用稳定性,温控精度等。
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高温束源炉,包括机架,其特征在于,包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,底座的上方设置有保护罩,保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,坩埚上设置有所述加热丝,坩埚的外侧设置有屏蔽层,底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。
热空气装置包括空压机、加热箱和管道,空压机通过所述管道与所述加热箱连通,加热箱通过管道与所述中空腔连通,空压机产生的空气通过管道进入到加热箱中进行加热,并经管道通入到中空腔中。
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