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特种气体的作用：

1、做保护介质，通常使用---气、ya气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。

2、检测及比较介质，通常会根据使用的仪器配制标准气体，用于质谱仪、气相色谱仪、核测、报警、检漏、医1疗、电子、原子吸收、化学检验等。

3、能量介质，主要用到氢气、氧气等，是航空航天的重要燃料。

4、切割、焊接的介质，应用于电光源工业、玻璃制造、机械加工、航空航天1、基础建设等。

特种气体的介绍

特种气体用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。

特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。

特种气体系统工程施工的一般性要求

特种气体系统使用的不锈钢管应采用全自动轨道焊机焊接，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应检定合格并在有效期内使用。然后取出被检产品，将外表的剩余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会经过漏孔走漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，然后完成被检产品总漏率丈量。特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，并经过业主审批后实施。主要设备材料进场应提供---资料：产品合格证、保---、性能测试报告；产品安装、使用、维护和试验要求等技术文件；产品规格、型号、数量、设备附件及工具。

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