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洁净厂房竣工验收时,应认真检查竣工验收的资料,一般包括下列文件及记录:
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的验收记录。
杭州碧海净化工程有限公司,成立于2010年,是一家从事净化工程系统设计、施工、安装、检测、调试、维护等综合性技术服务的---企业。
无尘车间净化装修施工要求: 1、地面处理做自流平地面处理,铺设2mm厚pvc地板。
2、根据---规范要求,洁净室在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位,本工程在进行净化装修时,门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。
3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。
4、建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
5、根据---检查标准,室内装修要符合下列要求:
a.应选用气密性---,且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
b.墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗,减少凹凸面。墙、地---接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致,并便于识别污染物。
c.门窗与内墙而要平直,结构要充分考虑对空气和水汽的密封,使污染粒子不易从外部渗入,防止由于室内外温差而产生结露。室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断等缝隙均须密封。
6、施工中应控制施工作业中的发尘量,---是吊顶和夹墙内部等隐蔽空间,必须---清扫。
7、在己安装过滤器的房间,不能进行有粉尘的装修作业。
8、注意保护已完成的作业面,不得因撞击、敲打、踩1踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装修的污染。
杭州碧海净化工程有限公司,成立于2010年,是一家从事净化工程系统设计、施工、安装、检测、调试、维护等综合性技术服务的---企业。无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。在无尘车间的施工完成后,为了证明达标,一般都需要对无尘车间中的洁净度进行测试。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。而无尘车间的送风量计算一般不依赖于热湿负荷,它主要是根据不同的洁净度按断面平均风速或换气次数来计算送风量。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度---敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提---,对有关规范、导则等提出的或参考值是否偏于保守,已有不少讨论。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(hmds)。
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