辽宁流体系统控制单元报价承诺守信

fscu 用途

将 fscu 嵌入到应用系统中，fscu 可通过触摸屏、plc、pc 软件等上位机系统控制-主流流量控制器如北京七星华创、horiba、mks、brooks、bronkhorst、alicat 等品牌及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、mfc故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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气体流量单位

气体流量单位一般以sccmstandard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升和slmstandard liter per minute,每分钟标准升来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27-k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。

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流量控制器在高压条件下如何使用?

流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要-注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的mfc; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  3, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要-mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点,  mfc就能够在高压条件下稳定工作。

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