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高温束源炉简介

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售高温束源炉，我们为您分析该产品的以下信息。

束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下，通过加热材料的方法，使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。

随着真空镀膜技术的不断发展，对镀膜设备的工艺需求也不断提出更高的要求，尤其在温蒸发设备领域更显-。在温状态下所用材料的选用尤为重要，要求在正常高温下炉内气氛清洁，不能给工件带来污染，使用稳定性，温控精度等。