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真空镀钛是指在真空的环境下,采用弧光放电,把阴极钛靶作为蒸发源,通过钛靶与阳极机体之间的弧光放电,使钛靶材蒸发并形成离子体,产生的离子体高速向产品上运动,在产品表面进行沉积,形成了钛膜层。要想镀出坚固的钛层,首先要有好的设备。清洗效果,能使镀层直接贴近基体,有效地增强了附着力,简化了大量的镀前清洗工作。因为在镀膜过程中,真空系统必需要工作稳定,炉体保压要好,如果在镀膜过程中有杂气掺入,颜色就会不理想,---的还会脱钛。
离子镀技术早由d. m. mattox于1963年提出并付诸实践的。其原理是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时,把蒸发物或其他反应物镀在基片上的工艺。
根据膜层粒子的获得方式,离子镀可分为蒸发型离子镀和溅射型离子镀,其中蒸发型离子镀根据放电原理不同又可分为直流二级型离子镀、热丝弧离子镀、空心阴极离子镀以及热阴极离子镀等。
磁控溅射是70年代在阴极溅射的基础上发展起来的一种新型溅射镀膜法,由于它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的致命弱点,因此获得了迅速的发展和广泛的应用.
1. 磁控溅射:
离子轰击靶材将靶面原子击出的现象称为溅射.溅射产生的原子沉积在基体(工件)表面即实现溅射镀膜.
磁控溅射的基本原理:
磁控溅射是在溅射区加了与电场方向垂直的磁场,处于正交电场区e和磁场b中的电子的运动方程,
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