电源供应装置通过一升降机构安装在机座上并与控制装置电连接;所述整体测量机构包括一安装在机座上的驱动电机、一连接在驱动电机上的传动轴及一安装在传动轴的一端的接地端;钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20w/cm2,钎料常用in、sn、in-sn。所述择点测量机构包括一安装在机座上的第二驱动电机、一对安装在所述第二驱动电机上的第二传动轴、一安装在机座上并与所述第二传动轴平行的滑轨及若干安装在滑轨上的测点探针。
中国的-工业,由于长期处于计划经济体制内,发展比较缓慢,对于金银而言,可以说是历史悠久,源远流长了,但在改革开放前,没有纳入计划渠道的,直至2002年10月30日上海黄金正式开业,才宣告了计划经济时金银管理条例的失效,而铂族金属工业更是起步晚、技术落后,直到改革开放以后,才有了突飞猛进的发展,但与国际上的相比较,依然是落在人家后面,因此在中国无论是-的投资储备需求,还是实际的应用需求。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有-的微观结构。
陶瓷靶材
ito靶、氧-靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、---锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、---镁靶、---钇靶、-靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸-靶、氧化镍靶、溅射靶材等。由于锗中有少数杂质如磷、铝、硅、硼的分配系数接近于1或大于1,要加强化学提纯方法除去这些杂质,然后再进行区熔提纯。
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