-电容位移测量系统常用指南

cdms使用电容传感器实现非接触位移、位置、振动、角度、介电常数及各种形变、厚度、刚度等参数的---检测。基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。给传感器一个持续稳定的交流电，交流电压的振幅变化与电容到被测物体之间的距离成正比。交流电经过解调，可以输出为模拟量信号。

cdms采用了三同轴屏蔽结构和降噪传输电缆技术，通过电场环形屏蔽，实现了精度、纳米级分辨力、稳定性和抗干扰测量。cdms具有以下特点：

 1非接触，不干涉被测系统；

 2精度和稳定性，精度可至0.02%；

 3纳米级分辨力，分辨力可至1nm以下；

4可应用范围广，如高精密测量、工业生产线、高速高温、科研试验等场合。

电容式微小位移测量系统是近年来发展快的位移测量技术之一。众所周知，用两块平行的金属板就可以构成一个电容位移传感器，其电容量由极板 title=极板>;极板的相对有效面积、极板间距以及填充的介质特性所决定。只要被测物---置的移动改变了电容器上述任何一个结构参数，传感器的电容量就会发生变化，通过测量电容量的变动即可地知道物---移的大小。

在研究长周期光纤光栅lpfg温度及微弯特性的基础上,通过引入聚合物温度增敏封装后的光纤布拉格光栅fbg作为解调滤波器,搭建了温度自补偿微位移检测系统.将lpfg粘贴于试件上进行微弯测试,在固定波长处,其插入损耗的变化与弯曲度变化呈线---.为解决lpfg带宽宽、谐振波长难以测量的问题,选择特定波长的fbg作为滤波器,实现了位移检测系统的功率化解调.同时,对fbg利用聚合物进行了温度增敏封装,使其温度灵敏度与lpfg尽量相同,消除了温度对系统的影响.试验结果表明,传感系统输出的光功率与微位移呈---的线---,位移灵敏度为2μw/mm,分辨力为0.5×10-2mm.所设计的系统结构简单、灵敏度高、线性度好,不受外界温度干扰.