玻璃纳米镀膜服务

利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料functional thin-film metal-oxides materials，具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能，可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域，具有开启后硅基半导体电子-的-潜力。欧盟第七研发框架计划fp7提供980万欧元资助，总研发投入1340万欧元，由欧盟8个-德国总协调、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚，微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台orama etp。在建立紧密合作型研发-公私伙伴关系ppp的同时，将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。　

当前，在我国使用的镀膜玻璃主要有以下几种方式生产：　　　

1．电子枪蒸发镀膜机：利用热蒸发器的真空镀膜机生产镀膜玻璃，因整体生产是断续进行的，清洗后的部分玻璃常常需在车间中等待一段时间后方可进行镀膜室镀膜。

当前，在我国使用的镀膜玻璃主要：

1．真空蒸发镀膜：利用热蒸发器的真空镀膜机生产镀膜玻璃，因整体生产是断续进行的，清洗后的部分玻璃常常需在车间中等待一段时间后方可进行镀膜室镀膜，此时，玻璃会受到二次污染，致使被污染部分镀上的膜层易脱落，膜层的均匀性差，易有彩虹色差及反射率偏高，并且玻璃只镀一层膜，极易在空气中变色且不能生产大规格玻璃。因此，建设部作出明确规定，此类镀膜玻璃不易作幕墙玻璃。电子产品体积越来越小，越来越复杂，parylene共形涂敷能够提供超薄无防护来-元件的-性和使用寿命。

真空镀膜的方法很多，计有：(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体(如)通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3pa，然后将阴极接上2000v的直流电源，便激发辉光放电，带正电的离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。橡胶/硅树脂主要作用：干式润滑，隔离，不互相沾黏、不沾纤维和污垢，无印记，无表面损伤parylene能够保护产品免受油、污垢和污染物的影响，提高润滑性。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。