冷凝器-检漏设备生产厂家- 北京科创真空公司
-质谱检漏仪是现在比较常用的检测仪器,那么在使用过程中我们又遇到哪些问题呢?今天科仪-的小编就和大家来一起总结一下!
一、为什么用-气作为示踪气体?其他气体可以吗?1在空气中含量低(只有5 ppm),环境本底低
2惰性气体不易1燃,不易1爆对环境没有污染,不与其他物质反应,可以混合到任意浓度
3-,可以用在食品工业
4在质谱仪谱图中易于与其他物质区分
5比空气轻,运动速度快
6气体分子很小,可以穿过微小的泄漏孔
7其它气体也可以
二、喷-检漏的注意事项。
1被测系统应尽量清洁,干燥,无油
2如果测量条件发生变化温度,需要重新对检漏仪做内部较准
3-气比空气轻,喷-法检漏应注意方向
4尽量不要使用密封脂油脂会大量吸附-气
5不要向环境释放大量-气
6真实的漏率信号应当是快速上升的信号,相对缓慢下降的信号
三、漏率leak rate
在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
注:采用国际单位制时,漏率单位为:pa?m3/s。
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实际使用-气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13pa·m3 / s; 泄漏率显-围为1×10-3—1×10-13pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内; 响应时间小于或等于1。3.压力哀减法(压差法)就是将被检工作,利用压缩机或压缩空气(一般1-3mpa)连接进一个压力表,待充上气后,密封(-封头不漏),观察压力表24小时内压力降情况,如有漏则压力降低,但不能判断什么地方漏,漏多少。0s; 检漏口较大压力:1000pa; 电源需要220v,50hz,单相,10a。
使用-气检漏设备时,请注意其机械泵的抽速为4l / s; 工作环境要求为5-40℃; 应注意相对湿度必须小于或等于80%; 尺寸:600w×550d×1000h; 通常重量将保持在65kg。用-气作为-质谱检漏气体的原因1、-在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5。 关于-气检漏设备,应注意其配备了标准-气检漏装置,包括更详细的校准报告。
-质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并-成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。4、在-两侧的是氢质荷比为2和双电荷原子碳质荷比为6,质荷比都与-相差较大。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的-离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和-气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的-质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。6)、维持泵有一定的-分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,-气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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