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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?

流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成-损失。

通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。四、设备的精度-位也会高，并且还需要-的维护，在振动以及使用条件进行经常检查等，-精度以及仪表的安全。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于-化硼等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。

由于金属密封的mfc价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的mfc。用户在订货时,需要向供货厂商特殊声明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成-损失。如果不特殊声明, mfc都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;  -化硼等——需要采用-橡胶。

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