越野车灯杯定做-「在线咨询」
佛山市锦城镀膜有限公司以耐高温车辆灯具注塑+镀膜为主的生产厂家,公司秉承“以质-,求真务实,顾客”理念,欢迎广大客户光临了解.
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:
真空度:真空度是指处于真空状态下气体的稀薄程度,用压强表示,压强越低,其稀薄程度越大,真空度越高。镀膜过程中,真空度主要通过控制ya气流量来改变。
ya气越少,靶材溅射量越少,但真空度越高,气体分子自由程越大,散射越少,粒子碰撞几率越小,粒子迁移过程中损失的动量越少,沉积速率越大
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基体温度:镀膜时基体温度直接影响膜层的结构、致密性和附着力,温度可用t/tm值来确定,如;靶材为钛,其熔点为1670℃,基体温度应该选择ti/tm=0.15-0.25即 250-417℃才能得到理想的晶粒组织。用普通真空镀膜只能镀直射表面,蒸发料粒子尤如攀登云梯一样,只能顺梯而上。考虑到沉积粒子受负偏压作用加速轰击工件还会引起温升,基体可选在250-300℃
pld缺点:1、在镀膜过程中,薄膜会被沉积在薄膜上的等离子本管中产生的微粒、气态原子和分子降低,采取一定的措施后也
不能完全消除.2、在控制掺杂、生长平滑的多层膜等方面pld生长部比较困难,因此进一步提高薄膜的会比较困难.
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