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---质谱检漏用---气的选择

---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。

-规定的瓶装---气按纯度高低分别为工业用---、纯---、高纯---三种。

1、工业用---：---含量***99%，露1点≤43℃.

2、纯---分---：优等品---含量***99.995%；一等品---含量***99.993%；合格品---含量***99.99%。

3、高纯---分为---：优等品---含量***99.9996%；一等品---含量***99.9993%；合格品---含量***99.999%。

---气在---质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用---，即---含量***99%，露1点≤43℃。

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---质谱检漏仪故障与处理

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到-震动，此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。

(2)定位方法

采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将---源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。喷吹时，要严格控制---源的流量，尽量采用喷枪咀流量小的喷枪，提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。---质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法---质谱检漏仪原理的---质谱检漏仪特点：1。

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