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真空泵的使用范围

   由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。

   表3-1  常用真空泵的工作压强范围及起动压强

真空泵种类          工作压强范围pa            起动压强pa  

活塞式真空泵      1×100000～1.3×100              1×100000  

旋片式真空泵      1×100000—6.7×0.1              1×100000  

水环式真空泵      1×100000—2.7×1000             1×100000  

罗茨真空泵        1.3×1000—1.3                   1.3×1000  

涡轮分子泵        1.3—1.3×0.00005                1.3  

水蒸气喷射泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

油扩散泵          1.3×0.01—1.3×0.0000001        1.3×10  

油蒸气喷射泵      1.3×10—1.3×0.01               <1.3×100000  

分子筛吸附泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

溅射离子泵        1.3×0.001—1.3×0.000000001     6.7×0.1  

钛升华泵          1.3×0.01—1.3×0.000000001      1.3×0.01  

锆铝吸气剂泵      1.3×10—1.3×0.00000000001      1.3×10  

低温泵            1.3—1.3×0.00000000001          1.3—1.3×0.1

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国-各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显现象是真空泵内有噪音和振动。过大的汽蚀会导致泵体、叶轮等零部件的损坏，以致于真空泵无---常工作。

由此可以看出，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时，可以优先在单级泵中选取。如果对真空度或排气压力要求较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较---量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。不同泵的启动特性有什么不同时间：泵或泵组的启动对原动机来讲属于轻载启动，一般情况下启动时不会有什么问题。如果真空度要求在－710mmhg以上，可选用罗茨水环真空机组作为抽真空装置。