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有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法
现今社会,无尘净化车间的装修被很多生产型企业所重视,无尘净化车间不仅能对产品的精度、、稳定性及成功率等都有-的作用,同时还能在一定情况下-工作人员的工作安全。对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大通常大于11039m3/小时和浓度低通常小于25ppmv的特点,使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。
半导体制造及封装测试的各个工艺步骤
半导体制造及封装测试的各个工艺步骤都有大量的废水产生,主要以酸碱废水、含氟废水、有机废水为主。⑴酸碱废水:对于酸碱废水处理前的ph值一般在3-11范围内,时间间歇性强。在排放水体或进行生物处理或化学处理之前,必须进行中和,使废水ph值达到6.5~8.5。但对于工业废水中酸碱物质浓度-3%~5%的废水,应首先考虑其回收。⑵含氟废水:含氟废水的治理技术主要为化学沉淀法,即投加化学---形成---物沉淀或---物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分离固体沉淀物即可除去---物。
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整,不应设门槛,不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。
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