真空泵的使用范围
由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同,因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值,以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强
真空泵种类 工作压强范围pa 起动压强pa
活塞式真空泵 1×100000~1.3×100 1×100000
旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000
水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000
罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000
涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3
水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 <1.3×100000
分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000
溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1
钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1
真空泵性能恢复的一些方法
旋片与转子的装配是很重要的,而转子和泵腔的上切点间隙、旋片与端盖之间的间隙,即高、低真空室双面间隙和转子切点间隙是修理和制造中的关键。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国-各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。即使如此但如果装配不当,泵的材料太差,也是有卡死或研坏的危险的。故应在实践中以试验来决定,不能一律对待。
一般真空度较差的泵,适当调整装配间隙和油路,是能收到较佳效果的。
间隙测量应当认真,除应经校准符合规定精度外,工件应清洗、凉干,一般重复测量几次。做好记录。然后综合泵的各方面情况,决定修磨尺一。试抽测该泵性能时,热偶真空计等相对规应进行校准。
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