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自从进入21世纪,伴随着现代工业技术的发展,在大多数零件上,不论是外观,还是性能,越来越精细的零件都有了更高的要求。面对这些严格要求,传统的零件加工办法和表面处理技术已经达不到标准。经过长时间的研发,镀钛解决了此类问题。其缺点是:1工艺比传统单色pvd的更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高。镀钛不仅能够满足人们对于零件的耐磨性、抗腐蚀性、少耗损等等性能的要求,更解决了零件材料经不住处于高温的环境中的问题,成功保持了零件基本不会变形,硬度不会降低的状态。
pvdphysical vapor deition,在真空条件下,采用物理方法,使材料源表面气化成原子、分子或离子,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。pvd主要分为蒸镀、溅射和离子镀三大类。
蒸发镀膜
真空条件下,将镀料加热蒸发或升华,材料的原子或分子直接在衬底上成膜的技术。根据加热方法的不同主要有以下几种蒸发镀膜技术。
采用电阻加热蒸发源的蒸发镀膜技术,一般用于蒸发低熔点材料,如铝、金、银、---锌、---镁、三氧化二铬等;加热电阻一般采用钨、钼、钽等。
其缺点是:
1工艺比传统单色pvd的更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高;
2生产良率低,大约为65~70%传统单色pvd的生产良率一般为85~90%;
3价格会比传统单色pvd的高50~60%;
4因工艺和流程的影响,双色pvd生产---较多,受产品结构的影响较大,而传统单色pvd则几乎不受---
现代涂层设备(均匀加热技术、温度测量技术、非平衡磁控溅 射技术、辅助阳极技术、中频电源、脉冲技术) 现代涂层设备主要由真空室、真空获得部分、真空测量部分、电源供给部分、工艺气体输入系统、机械传动部分、加热及测温部件、离子蒸发或溅射源、水冷系统等部分组成。射频溅射采用射频电源代替直流电源,在靶和衬底间施加高频电压,溅射时,靶极会产生自偏压效应即靶极会自动处于负电位状态,使绝缘靶的溅射得到维持。
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