无尘车间设计公司-

洁净厂房的工艺平面布置

洁净厂房的工艺平面布置： 净室区内只布置-的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。 有空气洁净度要求的洁净室区应靠近空气调节机房；空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。 充分考虑大型设备的安装运维路线，预设安装口和检修口。 设置气闸室、传递窗；单独的物料入口。 车间内各项固定技术设施送风口、照明器、回风口、管线等的布置应优先考虑净化空调系统的要求。

有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法

现今社会，无尘净化车间的装修被很多生产型企业所重视，无尘净化车间不仅能对产品的精度、、稳定性及成功率等都有-的作用，同时还能在一定情况下-工作人员的工作安全。对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大通常大于11039m3/小时和浓度低通常小于25ppmv的特点，使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗，密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料，以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整，不应设门槛，不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。