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有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法
现今社会,无尘净化车间的装修被很多生产型企业所重视,无尘净化车间不仅能对产品的精度、、稳定性及成功率等都有-的作用,同时还能在一定情况下-工作人员的工作安全。对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大通常大于11039m3/小时和浓度低通常小于25ppmv的特点,使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。
净化厂房的净化车间设备
净化厂房的净化车间设备:净化车间进风系统要安装新风过滤箱、净化空调末端要有送风口。-时要安装净化增压箱。净化车间回风系统:回风口、过滤初效器、中效回风箱;净化车间前入缓冲区:缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜、空气清新机净化厂房装修中人、货物进入净化车间必须经过风淋室货淋室,传递窗传递小物品;净化厂房装修中在净化车间局部需要达到10——1000级的地方安装垂直层流工作台、层流罩ffu洁净棚可移动式工作棚、自净器。测无尘室洁净度用激光尘埃粒子计数器。
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