低压化学气相沉积服务介绍

真空磁控阴极溅射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔体内，处在负电压的两极间的工作气体正离子在正交电磁场的作用下飞向阴极，在很短的阴极位降区内获得很大的能量去迅速轰击靶材，从而使阴极(靶材)原子飞向玻璃基片--玻璃沉积膜层，溅射出的二次电子(此过程称γ过程)在电磁场作用下按旋轮线运动参与碰撞电离，蟹衍载流子，这样就能源源不断地轰击阴极，提供足够数量的正离子，形成的等离子区使持续辉光放电，其可以一次完成多层镀膜，有着的膜层均匀性，的边缘复盖和---的附着力。镀膜有着优于和区别于其它真空磁控溅射镀膜机的地方是：它的平面磁控靶上的磁场是由环形磁铁产生的，可将半园环形磁铁看成是---t微扇柱状磁铁的组合 。铁氧体磁性材料及稀土永磁：高导磁软磁铁氧体小磁芯体积小、---、用量大。所以，其相应点磁标势较稳定，才能生产出均匀牢固的镀膜层。

      派瑞林纳米涂层式一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀coating形成膜层，薄膜的厚度可在1微米至 50微米的范围内任意调整。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。由于在真空状态下操作蒸气无孔不入效率，可形成无膜层， 并地控制膜层厚度，且各处厚度均匀一致，使派瑞林(parylene coating)涂层的覆被特性远优于epoxy电泳、spary喷涂、dipper含浸等涂装方式。

真空镀膜的方法很多，计有：(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体(如)通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3pa，然后将阴极接上2000v的直流电源，便激发辉光放电，带正电的离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。普通的电镀、电泳处理的后的产品的耐盐雾时间仅能达到70-100小时。(3)化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。

parylene可以改变橡胶制品的表面特性，改变橡胶制品的摩擦性能、触感、耐化学---溶胀、耐静穿性能等。

硅橡胶经parylene coating后可以在硅胶按键产品的表面形成的一种均匀而极薄2-3 μm、且与原产品表面轮廓相一致的聚合物保护层。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。经过parylene后的产品，具有---的屏障特性、光学性能、热性能以及---的抗磨擦能力，使用寿命---加强。

密封垫：储油、储气装置上的密封垫的表面经过parylene coating后，可以起到防泄漏的作用