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光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于-设计之密闭空间。洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施
为-洁净室净化工程内所必须的空气洁净度,洁净室净化工程设计中涉及到的各个设计均应采取妥善的、-的技术措施,以减少或防止室内产尘、滋生微生物,减少或阻止将微粒微生物或可能会造成交叉污染的物料带人洁净室净化工程内,有效地将室内的微粒微生物排出,以减少或防止它们滞留洁净室净化工程内。洁净室净化工程设计应做到顺应工艺(或使用)流程、合理选择各类设备和装置、尽力实现人和物流的顺畅短捷、气流流型选样得当、净化空调系统配置合理、各种特殊要求的技术措施得当,洁净厂房的平面、空间布置合理,实现-经济运行的洁净厂房设施。对于因尘粒脆生物或物料的交叉污染会危害产品雨量或人身安全时.还应采取安全、-的技术措施防让交叉污染,如严格控制不同用选的洁净室净化工程之间的静压差,按要求合理地划分净化空调系统以及回风系统的妥善设计等。
进入手术间的工作人员必须换手术室的刷手衣和拖鞋,将自己的衣服全部遮住,佩戴-手术帽和口罩,以减少-自身皮屑和毛发脱落对环境的污染。单向流洁净室,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上进风静压箱和-过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。
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