天津天津净化工程厂家

在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度---敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。 实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2a。 此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可 以受到较高的相对湿度的影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着容易，甚至不需要聚合改性剂，如六二硅氮烷(hmds)。

洁净室地面应符合下列规定

洁净室地面应符合下列规定： 1.洁净室地面应符合生产工艺要求。 2.洁净室地面应平整，耐磨、易清洗、不开裂、且不易积聚静电。 3.地面垫层宜配筋，潮湿地区垫层应有防潮措施。 洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面宜平整、光滑、位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。 洁净室区和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有---的气密性。 洁净室内的密闭门应朝向空气洁净度较高的房间开启，并应加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。

沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的---。在无菌操作台开启的状态下，取内径90毫米的无菌培养皿若干，无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升，倒置于30~35℃培养箱培养48小时，证明无菌后备用。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。

一般来说，沉降菌法监测每月一次便可。净化车间工程常用的仪器有温湿度表、温湿度计、数显风速仪、红外温度计、压差计、多功能声级计、粒子计数器、风量仪等，它们是常规的实时检测设备，帮助检测是否达到10万级净化车间标准。