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电容式位移传感器
电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在-环境中工作。电容式位移传感器的电容器极板多为金属材料,极板间衬物多为无机材料,如空气、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作,尤其是解决高温高压环境下的检测难题。 在国内研究所,---院校、工厂得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连,在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示,远程控制和报警。实现数据存储,积算、传输和控制功能。广泛应用于各种注塑机中。
电容式位移传感器的特点优势
高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输入能量也很低。块的下端面也是一个活动电极,它与下固定电极组成另一个电容器c2。电容式传感器因带电极板间静电引力小(约几个10-5n),因此所需输入能量小,所以---适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能感受0.001μm甚至更小的位移。
温度稳定性好。传感器的电容值一般与电极材料无关,有利于选择温度系数低的材料, 又因本身---小,对稳定性影响甚微。
结构简单,适应性强,待测体是导体或半导体均可,可在-环境中工作。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧,以实现某些特殊的测量;能工作在高低温、强辐射及强磁场等-的环境中,也能对带有磁性的工件进行测量。
电容位移传感器
它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是,为实现测量位移目的而设计的电位器,要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。
物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值,阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。通常在电位器上通以电源电压,以把电阻变化转换为电压输出。线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化,其输出特性亦呈阶梯形。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件,则过大的阶跃电压会引起系统振荡。因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。它的优点是:结构简单,输出信号大,使用方便,价格低廉。
磁致伸缩位移传感器通过非接触式的测控技术地检测活动磁环的位置来测量被检测产品的实际位移值的;该传感器的高的精度和高---性已被广泛应用于成千上万的实际案例中。
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