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小型氢微纳米气泡性能参数压坏时产生的射流对半导体衬底研磨的影响

分子动力学模拟小型氢微纳米气泡性能参数压坏时产生的射流对半导体衬底研磨的影响

随着功率半导体器件的需求增加，要求cmp提高sic、gan等高硬度半导体基板的研磨速度。我们考虑了小型氢微纳米气泡性能参数压坏时产生的射流的利用。由于射流具有比冲击波的冲击力，因此通过使喷气式流与基板碰撞，可以期待研磨速度的提高。因此，在本演讲中，我们报告了利用分子动力学计算分析了小型氢微纳米气泡性能参数射流对sic半导体衬底的影响的结果。

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因为小型氢微纳米气泡性能参数会给负电子带来带电，所以利用电子的引力将污垢从毛孔内部去除到毛发的角质和皮脂。通过-清除污垢，站起来就会变好，容易切割。另外，因为能够抑制水的膨胀率，所以能够压倒性地加快干的速度。

在水中产生微小的气泡(几十μm以下)。小型氢微纳米气泡性能参数，净化水质。水中溶存氧气量增加。如果使用臭氧，还有的杀菌、除臭、漂白效果。

相对于普通气泡直径1mm左右的大小，小型氢微纳米气泡性能参数的直径小于0.01mm。由于气泡的浮力小，小型氢微纳米气泡性能参数在水中滞留时间长。因此，水中的溶存氧气量会增加。

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小型氢微纳米气泡性能参数的另一个大效果是洗净力非常高。该清洗机制如下所示。

在硅晶圆表面附着的康塔米的清洗中，施加含有小型氢微纳米气泡性能参数的超纯水喷气式飞机时泡沫时的力量和冲击波飞跃性地提高了洗净力。

小型氢微纳米气泡性能参数渗透到油分中，渗透到附着面的边界中，因此有去除油分剥离的脱脂效果。另外，还可以进入紧贴物之间的狭窄处，纳米尺寸的泡沫合体，形成小型氢微纳米气泡性能参数，发挥楔子的作用，使之分离。这种特性提高了洗净力。这个用途非常多，从家庭的浴室、淋浴、洗碗机到机械加工部件等的清洗使用。

另外，效果也-。不仅是附着在表面的---，小型氢微纳米气泡性能参数渗透到生虾身上，自来水和空气的小型氢微纳米气泡性能参数成功地了近90%。

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可以将用小型氢微纳米气泡性能参数和微生物染成颜色的水进行漂白。但是，因为要让微生物处理，所以多少要花些时间。在短时间内处理时，使用小型氢微纳米气泡性能参数发生器。如果将臭氧作为小型氢微纳米气泡性能参数，脱色效果也会提高，脱色装置也会变得紧凑。旭山动物园的河马游泳池的水漂白，向小型氢微纳米气泡性能参数发生器供给臭氧进行漂白。

小型氢微纳米气泡性能参数带负电，它的附着、吸附力和浮力可以使垃圾、塑料、油等浮起来分离。

另外，在观赏性鱼类的水槽、陆地养殖等中，蛋白质可以吸附在小型氢微纳米气泡性能参数中浮出并分离，所以可以作为蛋白质吸附者使用。小型氢微纳米气泡性能参数发生器也被用于阳光池袋(水族馆)。