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温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,- 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。目前已有这种具有一定导电性能的塑料地板或地毯产品,能十分有效抑制由于人的行走产生静电。
无尘车间压差控制
无尘车间压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘车间内的空气量适当的大于回风和排风量时,室内则可维持一定的正压值。此时,在室内外静压差的作用下,通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。 压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说,过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加,从而影响风量,排风设备的时开时停也会导致排风量的变化;此外,与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查,并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。电子行业无尘车间的周围还可以加装夹心彩钢板,起到防尘和绝热的作用。
无尘车间净化技术
该净化车间的空气悬浮粒子不大于规定数值。要实现这一点,首先要对-量的送风经过滤。这种送风的目的在于:(1)过滤室内人员和设备散发出的粒子和细1菌;(2)向房间加压,-颗粒大的空气不会流入无尘车间。其次,无尘车间的建筑材料不产生尘埃粒子且便于清洁。后,无尘车间人员使用洁净服,使他们散发的粒子和微生物少。这些措施及其他使用洁净无尘室引入、产生、滞留的污染降至少的类拟措施。无尘车间还可以控制温度、湿度、声音、照明、振动。若是单向流洁净室,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。但这些特性并非无尘车间所专有。
1级无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的准确要求为亚微米。 10级无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100级这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细1菌-敏感的的隔离治1疗,比如像骨1髓移植术后的隔离治1疗。 1000级无尘车间主要用于高光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。姬松茸:菌丝浅白,以微土黄色为主,纤细,发展整洁平均,气生菌丝少,发展后期可有少量的粗菌素,发展时刻是平菇的2倍。 100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医1药工业也常常使用这一级无尘车间。
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