超洁净车间设计-「多图」

ffu循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由ffu提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。2倍进行考虑，务必注意承载体的强度和---性，否则将有重大---。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装公司。

洁净工作台可以在操作台上形成无菌、无尘的局部净化空间，其主要部件有预过滤器、过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件等。洁净工作台有足够的送风量，选择合适的气流流形和---的过滤装置，---所需的空气洁净度等级；有排风装置时，应选用---的排风处理装置或技术措施，达到不污染室内外环境的排放要求；噪声低、振动小、满足相关标准、规范的要求；减少系统送风量：洁净室内的送风量较之一般恒温恒湿空调房间内的送风量大很多，设法减少系统的送风速度，可有效地节省处理空气所耗用的能量，达到节能运行的目的。操作面光滑、平整、无凹凸、防止积尘；工作台内操作面上的气流分布应均匀、可调；工作台的工作和空气洁净度以及其他特殊要求等宜采用自动控制，至少应装设---的显示仪表显示工作台的工作状态；工作台内的过滤器应拆装方便。

洁净室按规范要求都设置有消防给水、灭火设备和火灾自动报警系统，主要是为了及时发现火灾，将火灾事故消灭在初始阶段。对于洁净室由于其具有技术夹层和用于回风空间的下夹层，我们在布置报警探头时-考虑，这样更有利于及时发现火情。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。同时，对于有大量精密和贵重设备的洁净室，我们还可以引入vesda这种早期预警空气采样报警系统，比常规报警器提前3到4小---警，---提高了火灾的探测能力，从而达到及时发现，快速处理，将火灾损失减少到很低限度的要求。