欧洲减薄机给您好的建议,凯硕
特点
型号: 全自动vrg-300a
型号:hrg-150
1. 结构简单稳固
铸铁机身
结构设计-
减少晶片表面损伤及翘曲
2. 自动尺寸控制系统
3.自动修整系统
4. 全自动上下料系统
5. 自动清洗和干燥系统
6. 可编程操作系统
可存储20套加工程序,简单操作
易于操控
应用领域
硅片,碳化硅片,蓝宝石晶圆,金属,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,复合材料
1磨盘主轴系统
a 类型:滚子轴承
b 电机:ac 伺服电机(3.0kw)
c 砂轮规格:ф200mm
2) 工件盘主轴系统
a) 类型:滚子轴承
b) 电机:齿轮电机0.75kw
3) 进给系统
a) 类型:combination of ball serve&lm guide
b) 电机:微步进给电机
c) 控制:0.1μm control by linear scale feedback
4) 控制系统plc
a) 制造商:parker hannifin co.
b) 控制器:sx indexer/drive
c) 显示系统:eason 900
5) 辅助设备
a) 电源:220v,50hz,3相,5kw
b) 气压:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6mpa)
c) 离心分离机:sludge free(sf100)(选配件)
d) 水箱容量:200l
e) 冷凝器:0.5kw
f) 过滤装置:20μm,10μm cartridge filter
6) 尺寸及重量
设备尺寸:1,100(w) x 950(d) x 1,976(h)
设备重量:1,400kg
1.操作简单
该设备采用plc控制系统,通过简单的培训,操作者即可在液晶显示屏友好界面的引导下,熟练操作设备。当设备出现故障时, 屏幕向导会提示出错编码,易于排除故障。
2.设计安全
该设备的设计处处为使用者的安全着想,-操作加工的安全。
3.-精度
磨盘的进给采用微米步进电机进给系统,-长时间的加工精度。
4.各轮独立驱动
磨盘及工件盘均采用独立的电机,分别采用变频或伺服控制,转速可任意调整,且控制简便。
5.冷却水循环使用
冷却水箱配有杂质过滤系统,冷却水可循环使用,即节约成本,又减少了对环境的环境。一台冷却水箱可同时连接多台设备。
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