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采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。然后取出被检产品，将表面的残余---气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的---气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个-压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有qj3123-2000《---质谱真空检漏方法》、gb /t 15823-2009《---泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
许多密封件是在一定的压力阈值下出现泄漏。如果未在运行过程的压力下试漏，那么一些漏孔则不宜检测出来。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。
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这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷---,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当---喷到漏孔上时,---气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,---质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷---,喷---时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。本底”6、逐个将---气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
吸---法主要用于检查某些大型密封容器。按照收集---气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。如弹体、---、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入---气(为了节省用---量,可以用低浓度---气) ,在---质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了---的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的---会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。
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