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真空磁控溅射镀膜机镀铝时,会碰到哪些问题
真空磁控溅射镀膜机能镀各种物质和各式各样的膜层,比喻:镀金、镀银、镀钛等等,运用行业有装饰、五金、陶瓷、等等,运用非常广泛。但是还是有很多人,对真空磁控溅射镀膜机不是很了解,---是刚进入这个行业的人,今天小编要为大家详细讲解真空磁控溅射镀膜机在镀铝的过程中,会经常碰到哪些问
真空磁控溅射镀膜机真空镀铝是在真空状态下,将铝金属加热熔融至蒸腾,铝原子凝结在高分子材料外表,构成极薄的铝层。真空镀铝请求基材外表润滑、平坦、厚度均匀;挺度和摩擦系数恰当;外表张力大于38dyn/cm2;热性能好,经得起蒸腾源的热辐射和冷凝热的效果;基材含水量低于0.1%。常用的镀铝基材有聚酯(pet)、聚(pp)、聚---(pa)、聚乙烯(pe)、聚(pvc)等薄膜。
真空镀膜机真空室形变带来的影响为尽量减小
真空镀膜机真空室形变带来的影响 为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。 为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。步,将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由---抽到真空时,记录各千分表的变化量,经化处理后为用激光自准直仪调变补偿。
高频磁控溅射设备有什么特点
高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难-采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气体和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。 磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,---的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源磁控,多弧,离子所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
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