河北电容测微仪-

制造业是-的支柱产业，随着制造业的快速发展，尤其是-制造技术的出现，新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是-制造技术的重要支柱，也是提高制造技术水平的关键。当前，在制造自动化领域，进行了大量有关计算机辅助技术软件cad、capp、cam的开发，计算机集成制造技术cim、生产模式如-生产、敏捷制造、虚拟制造等，以及清洁生产和绿色制造等研究，代表了当前制造技术的一个重要方面。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的技术。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。

1981年美国ibm公司研制成功的扫描隧道显微镜(stm)，将人们带到了微观。stm具有-的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出单个原子)，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。由于超精密加工的精度等级和表面都-，因此，一定要有相应的检测手段，才能验证工件是否达到了相应的技术要求。与此同时，基于stm相似原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(spm)，用来获取通过stm无法获取的有关表面结构和性质的各种信息。