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气相沉积技术是指将含有沉积元素的气相物质,通过物理或化学的方法沉积在材料表面形成薄膜的一种新型镀膜技术。
根据沉积过程的原理不同,气相沉积技术可分为物---相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)两大类。
【金属表面涂层】
表面涂层方法是通过物理或化学的方法在基体材料表面制备一层与基体组织结构和性能不同的镀层或膜层。根据涂层作用原理不同,又可大致分为转化膜层和沉积膜层两类。
转化膜层是通过金属基体与环境相通常为液体发生某种特定的化学反应而在基体表面原位生长的膜层,化学组成多为无机成分。由于原位生长的特殊性,转化膜通常具有较高的膜基界面结合强度。目前形成转化膜的方法主要包括钝化passivation、阳极氧化anodization、微弧氧化micro-arc oxidation、离子注入ion implantation以及化学转化chemical conversion等。
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