莱宝真空泵叶片安装优惠报价,捷恩-

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分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和lcvd等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又---了膜层。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa～10-2pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

s为真空泵抽气速率(l/s)

v为真空室容积(l)

t为达到要求真空度所需时间(s)

p1为初始容器内气压

p2为抽气后容器内气压

影响因素

它是决议产品的大小,抽气量请求愈高,产品体积相对愈大,所需配用的电机功率亦会愈高。

它是决议产品采用何种构造,真空度是有表压及压力这两种读数。压力表示读数是，即读数愈靠近0\，真空度愈高。但反观表压，愈接近760mmhɡ即表示真空度愈高，假若你所请求的压力---真空是靠近0\，那么只要真空泵才能够满足这个需求。