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带钢真空镀膜总的来说仍处在发展的初级阶段，在带钢表面处理中所占份额目前还远不能与热浸镀、电镀相比。阻碍带钢真空镀膜发展的主要原因是生产率低，成本较高。有效的解决方法是开发研制高速，稳定的高功率蒸发源。

大功率电子枪的开发和使用是带钢真空镀膜中的关键技术。一般的真空蒸发镀膜可以采用电阻加热和感应加热。它的设备较简单，但加热温度和蒸发速率较低。要满足连续式工业化生产钢带真空镀膜的需要，就必须使用加热速度快，熔化温度高的热源。

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室-定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，

? 微电子、半导体：使用高纯的parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

?传感器和换能器：自动化控制和-环境下使用的传感器、换能器， parylene涂层防护可以提高环境适应性和-性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种-环境。 

?parylene适用于微机电(mems)、半导体领域之优点

*能进行微米级微细制作和加工；

*与其它微细结构材料有-的相容性；

* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；

*对微电子机械系统的使用环境有-的相容性和防护性