汕头钙钛矿镀膜机价格信息 沈阳鹏程

zf500有机蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高功能薄膜、蒸镀电极等，半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标：

---真空度4×10-5pa，系统漏率：1.2×10-7pal/s； 恢复真空时间：40分钟可达6.0×10 pa-4

真空室：d形真空室，尺寸350× 400mm

样品台：尺寸为4英寸4平面样品；

有机束源炉：数量：4支，标准型600度控温；

样品架：安装加热炉。基片的温度从室温至600℃硅片上表面的温度，只需标定一次即可

4套挡板系统：动密封手动控制；

样品挡板１套，磁力拨叉，

膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999? 

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钙钛矿镀膜机的特点有哪些？

1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。

2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品，烘烤加热温度为≤180℃。

3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。

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