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气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？

气体管道工程在实施时难免发生---小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?

产生此类故障的原因有三种：

第i一，是流量计后气路有泄漏;

第二，是气路气阻太小;

第三，是流量控制阀件损坏。

实验室气体管道工程

其检查方法如下：

首先堵住检测器的气路出口，观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零，需要考虑对漏气处进行检查，具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。

气体管道工程

此时应观察一---量调节阀转动时，流量是否 有较大的变动，若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题，按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

实验室气体的危险性：

1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；

2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等---化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；

4、多数气瓶出口压力可达15mpa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5n的高纯气体吹扫后才能接入系统。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管ss304ba、ss316ba、不锈钢电抛光管ss316l-ep等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。第i一，你所设工程的基本信息要尽量齐全，例如，仪器的摆放位置，仪器所要用到的气体，仪器所用的气体压力，流量方面的要求，所用仪器的进气口的配置情况，链接仪器的管线为多大。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。