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---质谱检漏仪

因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用---质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用---质谱检漏仪抽空后喷---查找漏点泄漏指标异常处。---质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到---质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层

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---质谱检漏仪逆扩散原理

电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用-加压容器向被检件压入---气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附---后放入-检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的---气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率

---在空气中及真空系统残余气体中的含量在空气中约含5.2ppm，在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。---的小相对分子为4，易于穿过漏孔。

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