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无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在-集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。

对无尘室c/r而言，较严格要求的部分为地板、---，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维-都应有其优先级。在应用力面、---、地板及墙壁三者之中很重要的为---，其包含hepa及ulpa等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人说：若建造之预算因某种原因被---，除了少数的小钱外，其---将趋于更贵的地步，其实---是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须准确。

门窗

应安装玻瑞并挂有可以拉动的窗帘。手术室净化安全的手术室空气净化系统，---手术室的无菌环境，可以满足气官移植、---、血管、人工关节置换等手术所需的高度无菌环境。采用低毒消毒剂，以及合理使用，是保障一般手术室无菌环境的有力措施。手术期间不开门窗，以免灰尘吹入或蚊蝇飞入。

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