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汕头电阻热蒸发镀膜机公司-,沈阳鹏程真空技术

发布者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司  时间:2020-8-30 






zf500有机蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高功能薄膜、蒸镀电极等,半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标:

---真空度4×10-5pa,系统漏率:1.2×10-7pal/s; 恢复真空时间:40分钟可达6.0×10 pa-4

真空室:d形真空室,尺寸350× 400mm

样品台:尺寸为4英寸4平面样品;

有机束源炉:数量:4支,标准型600度控温;

样品架:安装加热炉。基片的温度从室温至600℃硅片上表面的温度,只需标定一次即可

4套挡板系统:动密封手动控制;

样品挡板1套,磁力拨叉,

膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999? 

以上就是关于电阻热蒸发镀膜产品的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的热线电话或关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司!



300d三源有机蒸发镀膜机

主要用途:

-适合opv/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。

---真空度6.7×10-5pa,系统漏率:1×10-7pal/s; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 pa短时间暴露 -并充干燥氮气后开始抽气

样品台:尺寸为4英寸平面样品;

蒸发源:3套

4套挡板系统:挡板共有3套,动密封手动控制;

气路系统:流量控制器1路

石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统

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钙钛矿镀膜设备

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享电阻热蒸发镀膜产品的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!

设备用途 :

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域

设备组成:

该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。

    1、镀膜室:方形前后开门结构,内带有防污板。

    2、真空度:镀膜室的---真空≤5×10-5pa;

    3、蒸发源系统:有机源蒸发源4个,无机蒸发源2套

    4、样品架系统:样品大小为φ150mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;

    5、样品在镀膜过程中,可烘烤加热,加热温度为:室温~190℃,测温控温。

      6、膜厚控制仪:测量范围0-999999?




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