河北电容位移传感器-的选择「多图」

电容式位移传感器

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。下图显示了一种mems变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。电容式位移传感器的电容器极板多为金属材料，极板间衬物多为无机材料，如空气、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作，尤其是解决高温高压环境下的检测难题。 在---研究所，-院校、工厂得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示，远程控制和报警。实现数据存储，积算、传输和控制功能。广泛应用于各种注塑机中。

变介电常数型电容传感器设被测非导电液体的介电常数为ε1，液面高度为h，传感器总高度为h，内筒外径为d，外筒内径为d，此时电容值为

式中，ε为空气介电常数；c0为由传感器的基本尺寸决定的初始电容值，。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上下级间距离发生变化，导-容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。此传感器的电容量正比于被测液位的高度h。

电容传感器是将被测量尺寸、压力等的变化转换成电容变换量的一种传感器。它本身就是一个可变电容器，有的也与被测物体一起组成可变电容器。

知识点1-电容传感器的工作原理

对于一个平板电容器，它的电容量其中ε0为真空的介电常数；ε为介质相对于真空的介电常数；a为极板的覆盖面积；δ为两极板间的距离。

可见，当电容器中的ε、δ、a发生变化，均会引起电容的变化。电容式加速度传感器又称变电容式加速度传感器，它的结构原理如下图所示，一个块固定在弹性梁的中间，块的上端面是一个活动电极，它与上固定电极组成一个电容器c1。基于这个原理，固定住其中两个参数，只改变剩下一个参数，就能达到通过电容量变化观测被测值的目的。只需要配套测量电路，将电容的变化转化为电信号输出，即可得到被测值。根据变化参数的不同，电容传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种。

知识点2-极距变化型电容传感器

-电容器的两个极板间相互覆盖面积和介质不变，那么电容量将与极距呈非线---。电容的变化量：得到传感器的灵敏度

可见极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的二次方成反比，极距越小，灵敏度越高，但它们是非线---。为了减小非线性误差，通常测量范围δδ?δ0，一般规定极距变化范围δδ≈0.1。

实际应用中常采用差动型电容传感器以稳定传感器性能，它的结构与差动型可变磁阻式传感器相似，灵敏度是通常结构的二倍。