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感应加热式蒸发镀膜

利用高频电磁场感应加热，使材料汽化蒸发在基片表面凝结成膜的技术。

优点蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右  蒸发源的温度稳定，不易产生飞溅现象坩埚温度较低，坩埚材料对膜导污染较少缺点蒸发装置必须屏蔽造价高、设备复杂

在真空中，高能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够的能量而逸出表面，到达衬底凝结成膜的技术。

与真发镀膜相比，溅射镀膜适用于所有包括高熔点材料，具有附着力强、成分可控、易于规模化生产等优点。

但其工作气压低于蒸发镀膜，因此膜层的含气量和孔隙率大于蒸发镀膜。

镀层附着性能好

普通真空镀膜时，在工件表面与镀层之间几乎没有连接的过渡层，好似截然分开。而离子镀时，离子高速轰击工件时，能够穿透工件表面，形成一种注入基体很深的扩散层，离子镀的界面扩散---可达四至五微米，对离子镀后的试件作拉伸试验表明，一直拉到快要断裂时，镀层仍随基体金属一起塑性延伸，无起皮或剥落现象发生,可见附着多么牢固，膜层均匀，致密。镀钛工艺还可增强模具表面硬度，减少原材料在高压冲刷下对高光面造成的损伤，从而延长模具寿命。

涂层种类选择

1氮化钛涂层tin

tin是一种通用的涂层，可以提高刀具硬度并具有较高的氧化温度。

用途：高速钢切削工具，慢速加工工具如低速车刀粒，耐磨零件，注塑

模具。

2氮碳化钛涂层 ticn

ticn涂层是在tin的基础上添加碳元素，以提高涂层的硬度和低的摩擦系数。

用途：高速具，冲压模具，成型模具

3氮铝钛tialn、 氮钛铝altin

俗称：中铝al:ti=50:50、高铝al:ti=67：33以上，

tialn/altin涂层在加工过程中形成的氧化铝涂层可以有效提高加工工具的高温加工寿命，altin涂层的抗高温氧化比tialn要高100度左右。