气相沉积设备公司询问报价

镀膜技术在集成电路制造中的应用 晶体管路中的保护层sio2、si3n4、电极管线多晶硅、铝、铜及其合金等多是采用cvd技术、pvcd技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的-之一。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。

蒸发式真空镀膜机的工作原理：通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法早由m.法拉第于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之知一。 蒸发物质如金属、化合物等置于坩埚内或挂在热丝上作为蒸发源，待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等基片置于坩埚前方。待系统抽-真空后，加热坩埚使其中的物质蒸发。蒸发物质的原子或分子道以冷凝方式沉积在基片表面。镀膜技术在建筑玻璃和汽车玻璃上的应用建筑玻璃有透光和隔热两个基本功能。薄膜厚度可由数百埃至数微米。膜厚决定于蒸发专源的蒸发速率和时间或决定于装料量，并与源和基片的距离有关。对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以-膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的属距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。简言之，蒸发式真空镀膜机的工作原理就是真空室内利用电阻加热法，把紧紧贴在电阻丝上面的金属丝熔融汽化，汽化了的金属分子沉积于基片上，而获得光滑反射率的膜层，达到装饰美化物品表面的目的。

关机操作顺序;

1.关高真空表头、关分子泵。

2.待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3.到50以下时，再关维持泵。

真空镀膜机-适用范围

1．建筑五金：卫浴五金如水龙头．门锁．门拉手．卫浴、门锁、五金合叶、家具等

2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品

3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等．

4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等

5、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜。

6、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜

7、不锈钢管和板

8、家具、灯具、宾馆用具