水环真空机组,大概可以分为下面几种类型:
水环泵:机组中水环泵的作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空,对于一般情况而言,单级水环泵---真空度不高,而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高,因此实际上我们一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵,而是采用了---压力较低的双级水环泵作为前级泵使用,这样还可以降低机组的---压力。离心泵的零流量启动特性——关阀启动离心泵在零流量工况时轴功率小,为额定轴功率的30%~90%,所以离心泵的启动特性是零流量启动即关阀启动。
一台泵与一台水环泵的---压力是400pa,这可以满足一般的真空需求,但它使用的范围会受到一定的---,如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合,就可以大大提高机组的---压力可以达到25pa。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的---压力,可以使用三台罗茨泵与水环泵组合,它的---压力可以达到1pa。在这个区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,容易使真空泵产生振动和噪音。
倘若---水环机组还是不能满足---压力的时候,我们可以采用水环泵并联机械真空泵。这个机组主要用于需要处理大量水蒸汽,时间长且---真空度要求非常高的抽真空系统,比如在真空干燥方面。
如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中,使用水环泵是比较合适的,但是因为其---真空度不高,而导致整个机组的---真空度较低这个只是相对而言。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中,需要---真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可以把气镇机械真空泵与水环泵并联,作为泵的前级泵。真空干燥时,先用水环泵进行预抽,直到它的水蒸汽大量减少时,再开动气镇机械真空泵,切断水环泵。真空泵性能恢复的一些方法虽然机械真空泵发生的故障是多种多样的,但绝大多数故障却是可以排除的。如果需要较长时间才能完成干燥的场合,所需冷却水和功率都比较少。
无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题,国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索,在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划,如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等,这些举措都为铺展市场做好了基础。主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便。
无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题,还使系统制造与运行成本降低。在生物制品与半导体行业中,如果应用普通旋片油泵,会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题,而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子,还要在系统运行中,定期清洗除油,增加了成本运行。指得是“---真空、真空度真空其实是一种理想的真空状态,其实真空是不存在的、压力”,但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜,因此也有广泛应用。因此,无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景,是着重商业化的对象。
国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境,无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质,还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴,带动了整个真空获得行业的-能力和技术标准。
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