OLED多源蒸发镀膜机定做--,沈阳鹏程真空技术

oled有机无机联合蒸发系统介绍

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电阻热蒸发镀膜产品，欢迎新老客户莅临。

oled有机无机联合蒸发系统的用途 ：

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，pvd与glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域

300c有机无机联合蒸发

主要用途： 　　

用于制备导电薄膜，半导体薄膜，铁电薄膜，光学薄膜等。 　　

系统组成: 　　

该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。 　　

技术指标： 　　

---真空度：≤6.7×10 pa 　　

恢复真空时间：从1×10 pa抽至5×10 pa≤20min 　　

系统漏率：6. 7×10-7pa.l/s； 　　

真空室：ф400 x400mm圆筒型真空室 ， 　　

蒸发源：1-4个，采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。 　

蒸发温度：加热温度：室温～1800℃； 　　

蒸发舟在距中心100～160mm的圆周上；蒸发舟可上下升降，调节幅度0～150mm样品中心与坩埚距离150~300mm； 　

工作架类型及尺寸：样品托盘直径φ300mm，其上可放多个直径20mm的小样品；样品托盘具有自转功能，转速在0～20 转/分钟，转速可调；样品托盘可摆角，角度在0～30度可调； 　　

烘烤温度：400℃数显自动热偶控温高温炉盘，数显自动热偶控温可加热到700℃ 　　

电阻蒸发源：电压5v，10v，功率2.5kw，水冷电极1~4对 　　

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

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派瑞林镀膜加工的优势

派瑞林它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称无孔不入可深入裂缝里和内表面，被业内称为当今首级的防潮、防霉零级、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。派瑞林涂层材料与派瑞林镀膜加工优势就是能够保护橡胶/硅树脂产品免受油、污垢和污染物的影响，提高润滑性。

派瑞林涂层材料，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的---。而派瑞林镀膜加工，使物件外表镀制金属膜层，将有机资料和无机资料结合起来，提高了它的物理性能以及改变产品外观。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司拥有的技术，我们都以为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对电阻热蒸发镀膜产品感兴趣，欢迎---左右两侧的在线，或拨打咨询电话。

oled有机无机联合蒸发系统简介

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电阻热蒸发镀膜产品，欢迎新老客户莅临。

设备组成：

该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。

技术要求：

1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约为600×450×450mm，不锈钢材料，方形前后开门结构，内带有防污板。

2、抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；

3、有机源蒸发源4个，容积5ml，2台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5kw；

3、挡板：蒸发源挡板采用自动磁力控制方式，控制其开启；

4、样品架系统：可放置大小为φ120mm的样品，旋转速度为：0～30转/分；

5、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置。

6、无机蒸发源2套、容积5ml，2台蒸发电源，加热电流300a，功率3.2kw；

7、石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?