中山实验室净化工程-

光学微电子净化工程解决方案:

　　3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++ffu送风口

　　这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);klc风机过滤单元ffu均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

无尘室温湿度控制方法：

1、无尘室温湿度维护管理。

无尘室适当之正压保持>;0.5mmaq，做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不---、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

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