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根据大量验收测定发现，低照度值达到200lx以上就比较困难，实际上150lx已相当亮了，因为平均照度要高于它很多.工作区内用平均照度意义不大，因为有若干点在150lx以下，就不适合工作。除可利用局部照明外，-时也可利用自然光，当平面上有外廊时就可以做到这一点。对于-要求高照度---点可以采用局部照明，而不宜普遍提高整个车间的低照度标准。除可利用局部照明外，-时也可利用自然光，当平面上有外廊时就可以做到这一点。

手术室及洁净辅助用房的外窗必须是双层密闭窗。 外窗框与墙体之间的缝隙在室内即正压面采用硅酮胶封闭，传递窗窗框与墙体的缝隙在墙体两侧用硅酮胶封闭，传递窗两侧的门扇要具有联锁装置。1μm(4gdram)产品已进人市场,硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求-严格。门框与门扇的缝隙周边连续敷设弹性密封条，使门关闭后形成密闭的密封线。 配电盘要求防尘，柜安装前要做卫生，安装后还要做卫生，并能使门关闭严密。安装插座、插座箱及线盒内必须打扫干净，紧贴墙面，安装端正。吸顶式灯具要紧贴吊顶，擦拭干净，所有进出管头都要采取密封措施。

风管与法兰组合成形时,与角钢法兰连接,风管壁厚小于或等于1.5mm时可采用翻边铆接。风管与法兰铆接前，应-行检查，合格后将法兰套在风管上。因此，将一般照明的下限值定为150lx是合适的，虽然在300lx时有更高的工作效率。管端应留有约10mm的翻边量，折管的方线应垂直于法兰面。然后用液压铆接钳或手动夹紧钳铆接风管和法兰，并留有四周的翻边。当风管的咬合、边缘折叠、铆接损坏时，应进行防腐处理。静压箱的箱体、箱内过滤器的框架及固定件应进行镀锌、镀镍等防腐处理。

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