洁净室中的气流速度规定
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;噪声控制洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足---的谈话联系及安全舒适的工作环境。
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度。
(2)吹过水平面的气流速度例如侧送时回流速度不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
噪声控制
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足---的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:对综合通讯的干扰。这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能。
以上指标都用a声级来评价,在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷a等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适,可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。
赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念,凭借规范化管理及-技术力量在食品、---、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净sc厂房、---厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨:!诚信!---!
静电问题所以在洁净室---别---,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有---的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被广泛采用的。因此,在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施,例如:夏季要降温、去湿因为夏季室外空气是高温、高湿的,冬季要加热加湿因为冬季室外空气是寒冷干燥的,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的。
洁净隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。所以压力差的物理意义就是漏泄或渗透风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。
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