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深圳中频离子镀膜机- 至成镀膜机生产厂家

发布者:东莞市至成真空科技有限公司  时间:2020-11-5 









至成镀膜机多靶离子束溅射镀膜机


至成镀膜机多靶离子束溅射镀膜机是研究超导、类金刚石、光学、磁性等高薄膜和材料表面改性的光机一体化的现代化镀膜设备。该机采用四靶、双离子源、离子源为考夫曼源。其原理是利用具有1500ev能量的正离子束或中性粒子轰击靶材料,使材料表面的原子和分子从母材中溅射出来,沉积在基片上成膜。可镀制任意材料,包括金属、合金、超导体、半导体、绝缘体等。该机采用80年代-发展起来的离子束溅射技术,利用双离子源、主枪,对靶材轰击,辅枪在镀前对基片进行清洗,增强基片的活性,提高结合力及纯度。沉积过程中低能轰击膜,增强沉积原子表面扩散和迁移,减少薄膜结晶结的缺陷,并配有对基片处理的各种功能,如加热、冷却、旋转、激光处理、掩膜等。引出栅φ25mm离子能量,1500ev能量束流大于80ma。



多功能真空镀膜机是怎么构成的?


多功能真空镀膜机是磁控溅射、多弧离子、蒸发镀膜的混合性设备,是在多弧离子镀膜机的基础上装备圆柱靶或平面磁控靶,设备具有离子镀的高离化率、高堆积速度的特色,一起也具有磁控溅射低温、安稳的长处,合适镀各种复合膜。

多功能真空镀膜机--磁控、中频、多弧离子镀膜具体介绍:

蒸腾与磁控溅射的混合设备:多功能,合适量产,适应性强。

磁控溅射与多弧离子镀的混合运用:多弧能够进步炮击清洗,添加薄膜与基材结合力。与磁控溅射一起作业可镀制复合膜高能离子源清洗活化,成膜速度快。


多对中频磁控溅射靶与柱弧离子镀的混合运用:中频靶更安稳如al,离化率高、堆积速率快、成膜均匀。中频反应溅射如镀制si02、tio2,一起镀多层不一样原料簿膜。

射频、直流、中频、柱弧的混合运用:射频能够直接镀制绝缘保护膜如sio2/ag/sio2

圆柱弧、中频、多弧的混合运用:柱弧-高离化率的一起,削减大颗粒堆积的份额,到达有好的结合力又有较好表面光洁度的作用。多功能真空镀膜机适用中高层次商品如表带、表壳、眼镜框、手机壳、高尔夫球具、卫浴洁具、饰品等。



光学真空镀膜设备该如何进行保养


光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜控制电柜、电子枪电枢组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方---有的性能。

光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。



光学真空镀膜机清洗和保养方法


光学薄膜在我们的生活中无处不在,从精密及光学设备、显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用;比方说,平时戴的眼镜、数码相机、各式家电用品,或者是防伪技术,皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸。光学镀膜技术以及普及到人们生活方方面面,因此光学真空镀膜机也是大家目前非常关注的话题。今天至成真空小编为大家介绍一下光学真空镀膜机在平时运行的时候该如何清洗和保养问题,希望能让大家对光学真空镀膜机多一些了解。

首先我们来介绍一下光绪真空镀膜机的清洗问题:设备使用一个星期后,因镀料除镀在工件表面外,亦因无定向性而工作室内的衬板上镀料,并越镀越厚,该层膜厚因组织、繞疏松,吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时,应对工作室及衬板进行清洗,如不-拆落来的部件,可用砂纸打磨干净。

因此,衬板必须烘干水份才能安装,烘干前,衬板的水分尽量抹干,工作架等部件用砂纸清洁后,需要把真空室的所有灰尘清理干净,此可用吸尘器吸干净灰尘。后安装衬板时,真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。如使用电子枪及离子源辅助镀膜,可能会造成清洁困难,可使用喷沙等方法来清洁。




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