不锈钢镀膜设备按需定制
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法 依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求,常用的有两种检漏办法,即---罩法和喷吹法这两种检漏办法具体介绍可见:---罩法和喷吹法的---质谱检漏仪检漏常见办法。检漏时,先用---罩法进行总漏率的测定,当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。 ---罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后,用一个充溢---气的查验罩,把被检件全体或部分的表面面包围起来,如图4所示。查验罩充---时先将罩内空气排出再充---,以---罩内---浓度尽可能挨近100百分之,被检件---何地方有走漏。 检漏仪都会有漏率值改变,显示出漏率值。---罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。asm192t2---质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而---罩时刻30s即可。---罩法可方便地测定被检件总漏率,不会漏掉任何一处漏点,但不能确认漏孔方位。 喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连,对被检件抽真空后用喷枪向漏孔处吹喷---气。当有漏孔存在时,---气就经过漏孔进入质谱仪被检测出,喷吹法弥补了---罩法不能定位的缺点。
离子镀膜设备的工作原理及操作方法
离子镀膜设备的工作原理及操作方法 目前商业上已有很精制的设备安装在显微镜下的载物台的位置上。溅射镀膜时,将抛光的试样安放在式样头具上,倾转到面对电子枪阴极的位置,调节溅射室中的气压,辉光放电,阴极溅射,反应溅射沉积。一定时间后,中断溅射,把溅射沉积的试样表面,转回到面对物镜的位置,观察试样表面的颜色,来评定沉积膜的厚度,当要求的颜色得到时,镀膜操作停止。
真空设备系统的简单介绍
真空设备系统的简单介绍 真空设备系统是由什么组成的呢?今天我们就来为大家简单介绍一下。 (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。 (2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。 (3)粗抽泵:从---压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。 (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
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